Chiller主要用于半導(dǎo)體制程中對多路反應(yīng)腔室的精準控溫，裝置由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機和控制系統(tǒng)構(gòu)成，采用先進的控制算法，提高了chiller的穩(wěn)定性、控溫精度和反應(yīng)速度。在帶負載的情況下控溫精度可達±0.5℃，可在-20℃~85℃之間任意控溫，有良好的溫度穩(wěn)定性。

產(chǎn)品型號：PTXF

更新時間：2026-01-08

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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產(chǎn)品分類

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半導(dǎo)體高低溫測試機

半導(dǎo)體工藝冷板冷卻器真空腔體冷板Chiller 水冷gpu測試小型水冷式冷熱一體機 vocs廢氣回收設(shè)備低溫冷循環(huán)機組半導(dǎo)體冷阱光學(xué)鏡組chiller 熱純水系統(tǒng) Ultra-Pure Water Heater DI water加熱器去離子水高低溫循環(huán)器超純水加熱裝置 DI水專用Chiller 研磨液生產(chǎn)線熱管理 CMP研磨液專用Chiller Slurry供給系統(tǒng)熱管理濕法設(shè)備配套冷卻器高低溫動態(tài)控溫系統(tǒng) 溫變測試系統(tǒng) 制冷加熱循環(huán)器恒溫循環(huán)器半導(dǎo)體制冷裝置半導(dǎo)體制冷恒溫系統(tǒng) 半導(dǎo)體專用溫控裝置半導(dǎo)體晶圓溫度控制半導(dǎo)體溫控設(shè)備chiller 半導(dǎo)體溫控裝置半導(dǎo)體專用控溫設(shè)備半導(dǎo)體恒溫半導(dǎo)體恒溫系統(tǒng) 高低溫循環(huán)器高低溫一體機高低溫循環(huán)裝置高低溫一體循環(huán)機高低溫冷熱臺控溫設(shè)備半導(dǎo)體冷水機半導(dǎo)體溫控系統(tǒng) 半導(dǎo)體制冷冷水機半導(dǎo)體冷卻一體機半導(dǎo)體高低溫系統(tǒng) 半導(dǎo)體芯片測試冷水機半導(dǎo)體冷卻加熱恒溫一體機芯片半導(dǎo)體專用冷水機恒溫恒流恒壓冷水機晶圓測試國產(chǎn)替代溫控系統(tǒng)

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產(chǎn)品介紹

　　一、產(chǎn)品概述：

半導(dǎo)體Chiller主要用于半導(dǎo)體制程中對多路反應(yīng)腔室的精準控溫，裝置由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機和控制系統(tǒng)構(gòu)成，采用先進的控制算法，提高了chiller的穩(wěn)定性、控溫精度和反應(yīng)速度。在帶負載的情況下控溫精度可達±0.5℃，可在-20℃~85℃之間任意控溫，有良好的溫度穩(wěn)定性。

半導(dǎo)體chiller由制冷，加熱單元，循環(huán)，控制系統(tǒng)組成，全密封結(jié)構(gòu)對環(huán)境友好，產(chǎn)品系統(tǒng)多，控溫范圍廣，智能化控制軟件，加熱制冷速度快。

二、產(chǎn)品分為：

1.單通道系列

2.雙通道系列

3.三通道系統(tǒng)

三、半導(dǎo)體Chiller細節(jié)展示：

四、半導(dǎo)體chiller參數(shù)說明：

	名稱	參數(shù)	名稱	參數(shù)	名稱	參數(shù)
1	單通道系列	-20℃~+80℃	雙通道系列	-45℃~+40℃	三通道系列	-20℃~+50℃
2	溫度范圍	±0.1℃	溫度范圍	±0.2℃	溫度范圍	±0.1℃
3	精度	2kw@-10℃	精度	11kw@-20℃/5kw@-40℃	精度	15kw@-10℃
4	冷卻能力	3kw	冷卻能力	2kw	冷卻能力	2kw
5	加熱能力	20LPM@0.6MPa	加熱能力	17LPM@0.6MPa	加熱能力	30LPM@0.85MPa
6	流量	Rc3/4"	流量	Rc3/4"	流量	Rc3/4"
7	端口大小	15~20°C	端口大小	15~20°C	端口大小	15~20°C
8	溫度范圍	15LPM	溫度范圍	30LPM	溫度范圍	30LPM
9	所需流量	Rc1/2"	所需流量	Rc1/2"	所需流量	Rc3/4"*2
10	端口大小	0.3~0.7MPa	端口大小	0.3~0.7MPa	端口大小	0.3~0.7MPa
11	進口壓力	/	進口壓力	/	進口壓力	/