普泰克制冷設(shè)備
專注于半導(dǎo)體行業(yè)溫控
服務(wù)熱線：15214387784
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產(chǎn)品中心
PRODUCTS CENTER
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產(chǎn)品中心半導(dǎo)體工業(yè)領(lǐng)域的產(chǎn)品系列chiller高精度換熱溫控單元-PHE系列Chiller高精度換熱溫控單元PHE系列
產(chǎn)品型號(hào)：
更新時(shí)間：2026-01-09
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
訪 問(wèn) 量 ：1176
15214387784
產(chǎn)品分類
Chiller高精度換熱溫控單元PHE系列產(chǎn)品，可實(shí)現(xiàn)對(duì)設(shè)備出口溫度的精準(zhǔn)控制，控溫精度在±0.1℃以內(nèi)。產(chǎn)品主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制程中CVD/PVD、Etch和IMP精確控溫領(lǐng)域，激光、醫(yī)療和精密實(shí)驗(yàn)室溫控方案。主要部件均采用國(guó)際的品牌，產(chǎn)品穩(wěn)定性高。循環(huán)系統(tǒng)包括循環(huán)泵、電加熱管、板式換熱器、水箱、排氣閥、單向閥、熱電阻、管道等組成。控制系統(tǒng)采用PID控制技術(shù)，高清觸摸屏顯示，設(shè)有多項(xiàng)保護(hù)功能，確保設(shè)備安全運(yùn)行。通過(guò)機(jī)組自身的制冷與加熱，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件要求。
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