普泰克制冷設(shè)備
專注于半導(dǎo)體行業(yè)溫控
服務(wù)熱線：15214387784
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普泰克 刻蝕機(jī)臺(tái)冷板溫控，在半導(dǎo)體刻蝕工藝中，等離子體反應(yīng)產(chǎn)生的熱負(fù)荷對(duì)反應(yīng)腔室及晶圓載臺(tái)（冷板）的溫度控制提出了較高要求。冷板表面溫度的穩(wěn)定性與均勻性，直接影響關(guān)鍵尺寸（CD）的控制精度與刻蝕速率的批次一致性。
普泰克 半導(dǎo)體控溫設(shè)備，在半導(dǎo)體制造的前道光刻、刻蝕、沉積，到后道封裝測(cè)試等核心制程中，溫度控制的精度與穩(wěn)定性直接影響芯片性能與良率。
普泰克 精密控溫機(jī)組解決方案，依托其深厚的精密熱管理技術(shù)積累與成熟的模塊化部件平臺(tái)，專為半導(dǎo)體制造、生物制藥、醫(yī)療、新材料研發(fā)及航空航天等前沿領(lǐng)域量身打造。
普泰克 液冷設(shè)備依托其在精密熱管理領(lǐng)域的深厚技術(shù)積累，致力于為新能源汽車(chē)、半導(dǎo)體、精密儀器及裝備制造等前沿領(lǐng)域提供高效、穩(wěn)定、緊湊的液冷溫控解決方案。
普泰克 光刻機(jī)用超純水Chiller，依托成熟的熱力學(xué)循環(huán)與精密自動(dòng)化控制技術(shù)，專為半導(dǎo)體光刻工藝中水質(zhì)要求高的溫控場(chǎng)景設(shè)計(jì)。
普泰克 光刻工藝溫度控制chiller，依托成熟的熱力學(xué)循環(huán)與精密自動(dòng)化控制技術(shù)，旨在為半導(dǎo)體光刻工藝提供穩(wěn)定、潔凈、低振動(dòng)的恒溫環(huán)境。
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