普泰克制冷設(shè)備
專(zhuān)注于半導(dǎo)體行業(yè)溫控
服務(wù)熱線(xiàn)：15214387784
專(zhuān)注于半導(dǎo)體行業(yè)溫控
服務(wù)熱線(xiàn)：15214387784
產(chǎn)品分類(lèi)
普泰克 Implant氣體降溫系統(tǒng)，在Implant（離子注入）等核心前道工藝中，高能離子束轟擊產(chǎn)生的瞬時(shí)高熱負(fù)荷對(duì)晶圓表面的熱管理提出了更為嚴(yán)苛的要求。
普泰克 Implant氣體降溫設(shè)備，依托成熟的熱力學(xué)循環(huán)與精密自動(dòng)化控制技術(shù)，旨在為半導(dǎo)體前道工藝提供穩(wěn)定、潔凈的低溫氣體環(huán)境。
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